具有长期稳定的质量流量控制器，可实现多种气体的准确测量和控制
化学气相沉积 (CVD) 是生产碳纳米管的最广泛使用的方法。在CVD期间，制备具有金属催化剂颗粒层的基底。基于所需的纳米管直径选择金属颗粒尺寸。将衬底加热到大约700 °C。 [图片] 为了启动高质量纳米管的生长，Biosflow质量流量控制器 (MFC),以卓越的气体流量控制使用数字通信协议是管理和精确控制多个气体进料的长期稳定性的过程的关键部分，包括: 一种工艺气体:氨Hydrogren氮气 [图片] 氨、氢或氮是工艺气体的示例。 以及一种含碳气体:Actetylene乙烯乙醇甲烷...【查看原文】
