光驰科技取得镀膜装置专利，便于调节坩埚在第一方向的位置

金融界2024年10月19日消息，国家知识产权局信息显示，光驰科技（上海）有限公司取得一项名为“镀膜装置”的专利，授权公告号CN 221822311 U，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本实用新型属于真空薄膜制备技术领域，公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括真空腔体、真空门、过渡门法兰、加料腔体和驱动组件，真空腔体设置有第一开口，真空门设置于第一开口，真空门设置有第二开口，过渡门法兰可拆卸或可移动安装于真空门远离真空腔体的一侧，过渡门法兰能在第一方向上移动，过渡门法兰设置有第三开口，第一开口、第二开口和第三开口均沿第二方向设置，加料腔体安装于过渡门法兰远离真空门的一侧，驱动组件连接加料腔体，驱动组件的输出端安装有坩埚，驱动组件能在第二方向上推动坩埚依次穿过第三开口、第二开口和第一开口进入真空腔体内，使坩埚到达镀膜位。本实施例提供的镀膜装置，便于调节坩埚在第一方向的位置。

来源：金融界