精确控制气体输送

[图片] 在半導體製造中，晶體管多年來發生了顯著發展，從平面器件架構到 FinFETS，再到現在的 Gate-All-Around (GAA)，以幫助支持各種工藝節點的開發。 這些發展通常需要新的前體來支持可製造性。 隨著半導體行業開始採用領先的技術節點，準確且可重複地交付前體對於晶圓性能、均勻性和良率至關重要。 [图片] 起泡系統 這種自 1970 年代以來一直存在的傳統方法的特點是使用一個裝有前體液體或固體的容器。 溫控浴保持前體溫度。 將載氣引入液體中並形成漂浮到表面的小氣泡，使蒸汽達到平衡蒸汽壓...【查看原文】