CVD化学气相沉积系统的应用领域介绍
化学气相沉积（CVD）系统是一种先进的薄膜沉积技术，广泛应用于多个高科技领域。以下是CVD系统的一些主要应用： [图片] 半导体工业 CVD技术在半导体工业中应用最为广泛，用于沉积多种材料，包括绝缘材料、金属材料和金属合金材料。例如，氮化硅膜（Si3N4）可以通过硅烷和氮的反应形成。 制备纳米材料 CVD系统可用于合成纳米材料，如碳纳米管、石墨烯、半导体纳米线等3。 电子设备组件 电子设备组件（如高效太阳能电池板、存储系统、计算机芯片和各种高性能工具）通常通过化学方法制造，气相沉积是其中的关键步骤。化学前...【查看原文】
