北京烁科中科信电子装备取得一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源专利，提升样品使用寿命

金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司取得一项名为“一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源“，授权公告号 CN202420098272.9，申请日期为 2024 年 1 月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本实用新型可以通过进气管向坩埚内部输送特定载气或反应气体，将高温固态或液态物质通过气体反应变为气态物质，通过出气管输送到离子源的弧室；或者通过载气携带，将低饱和蒸汽压气态物质，通过出气管带入到离子源的弧室；然后进一步电离得到难熔难蒸发固态元素的离子束流，可以提升样品使用寿命，减少固态污染物沉积，降低坩埚蒸发固态物质所需要的温度，提高离子源使用寿命和维护周期。

来源：金融界