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半导体晶圆研磨为什么要选择ABT-1600气浮主轴

作者：春亨工具发布时间：2024-09-27

ABT-1600气浮主轴在半导体晶圆研磨中的应用具有显著的优势，以下是对其应用的详细分析： 一、高精度加工能力 [图片] 跳动精度：ABT-1600气浮主轴的跳动精度在1μm以内，这对于半导体晶圆这种对表面光洁度和尺寸精度要求极高的工件来说至关重要。高精度的主轴能够确保在研磨过程中晶圆表面的均匀性和一致性，减少表面缺陷和误差。 无接触旋转：气浮主轴通过空气压力使主轴在悬浮无接触状态下旋转，这种设计减少了机械摩擦和振动，进一步提高了加工精度。 二、高转速性能 高转速：ABT-1600气浮主轴的转速高达160...【查看原文】

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