北方华创申请调度模型的训练等专利，提升半导体物料调度效率

金融界2024年9月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“调度模型的训练方法、物料调度方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN 118689170 A，申请日期为2023年3月。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种调度模型的训练方法，该方法包括：获取多组训练数据，每组训练数据包括：多个第一状态信息和多个第一预测动作信息，其中，第一状态信息用于描述不同位置上的物料分别从所对应的当前位置完成多道工序且回到作业完成位置所需要的时长，第一预测动作信息用于描述物料下一步执行的工序；对于每一组训练数据，根据半导体工艺设备执行第一预测动作信息的执行结果和第一状态信息，确定反馈信息；根据反馈信息，从多组训练数据中筛选目标训练数据；根据目标训练数据，训练预设调度模型，直至预设调度模型满足训练停止条件，得到训练好的目标调度模型。

来源：金融界