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诺贝尔奖技术加持！激光冷却技术助力FIB新革命！

作者：QuantumDesign中国发布时间：2024-10-18

聚焦离子束（FIB）技术是一种将高能离子流聚焦成细束的仪器，可对样品进行精密操作，尤其擅长对微观结构进行高精度的切割、成像和修复。随着FIB技术的进步，其应用范围已从早期的半导体制备扩展到材料科学、纳米加工以及高分辨率成像等领域。传统的FIB系统多基于镓（Ga+）离子源，其强度较低且样品污染性较高。近年来，基于氦（He+）和锂（Li+）等轻元素的离子源技术相继被开发，但仍然无法完全克服空间分辨率和样品损害问题。铯（Cs+）和铷（Rb+）作为新的离子源材料，具有出色的性能。zeroK公司运用曾获诺贝尔奖的...【查看原文】

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