什么是超快激光加工? 激光技术的发展,推动了超短脉冲激光与材料相互作用的研究,近20年来,飞秒激光与金属、半导体和透明介质材料的相互作用研究取得显著进展,并在此基础上发展了超快激光精密加工和微纳功能结构制备技术[1]。 由于脉冲持续时间在飞秒和皮秒量级,峰值功率密度很高,因此激光加工过程中引人的热量很小, 超快激光加工能够使金属、透明介质等材料从固态直接转化到气态,没有中间的熔化过程。由于烧蚀只发生在激光能量密度高于烧蚀阈值的区域,因此飞秒激光的加工精度能够小于衍射极限,从而将激光加工的精度推至纳米量级,...【查看原文】