安徽恒坤新材料科技申请含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法专利，提高硬掩膜组合物的耐热性能

金融界 2024 年 11 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，安徽恒坤新材料科技有限公司申请一项名为“含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法”的专利，公开号 CN 118930777 A，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示，本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法。所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式(1)所示结构。所述硬掩模组合物含有含萘二甲酰亚胺类聚合物、交联剂、催化剂、表面活性剂和溶剂。本发明设计并合成具有特定结构的含萘二甲酰亚胺类聚合物，一方面可以提高含有该聚合物的硬掩模组合物的耐刻蚀性能，另一方面也能提高硬掩模组合物的耐热性能，为超精细光刻图案提供一种解决的思路。

来源：金融界