上海哥瑞利申请半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法专利，可实现光刻机Chuck参数自动调整

金融界2024年10月21日消息，国家知识产权局信息显示，上海哥瑞利软件股份有限公司申请一项名为“一种半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法”的专利，公开号 CN 118759801 A ，申请日期为 2024 年 6 月 。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法，其特征在于：设置APC系统和EAP系统，APC系统与MES系统通信连接，EAP系统与联机设备、ADI CD设备、MES系统、APC系统分别通信连接；联机设备包括光刻机；该方法包括以下步骤：1)光刻机通过MES系统和APC系统自动获取chuck Leveling参数并根据所获取的chuck Leveling参数自动调整chuck；2)晶圆曝光后，通过EAP系统自动反馈量测数据至APC系统；3)APC系统根据所反馈的量测数据自动计算chuck Leveling offset，并将计算调整后的chuck参数反馈到MES系统。

来源：金融界