天准科技申请掩模版和载物台兼容检测专利，检测效果好
金融界2024年10月21日消息，国家知识产权局信息显示，苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法”的专利，公开号 CN 118759807 A ，申请日期为 2024 年 8 月 。
专利摘要显示，本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法，属于半导体检测加工领域，兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台相机组件设置在掩模版吸附框上方，掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小，景深范围可兼容掩模版上下表面和载物台上表面三个待测面，检测效果好，提高了整体效率，便于在半导体检测和加工领域推广应用。
来源：金融界
