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掩膜版与光刻胶的功能和作用

作者:苏州汶颢微流控发布时间:2024-09-06

掩膜版与光刻胶在芯片制造过程中扮演着不可或缺的角色,它们的功能和作用各有侧重,但共同促进了芯片的精确制造。‌ 掩膜版‌,也称为光罩、光掩膜或光刻掩膜版,是微电子制造过程中的图形转移母版。它的主要功能是作为设计图形的载体,通过光刻过程将掩膜版上的设计图形转移到光刻胶上,再经过刻蚀,将图形刻到衬底上,从而实现图形到硅片的转移。掩膜版的精度和质量在很大程度上决定了集成电路最终产品的质量。在制造过程中,掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”,承载了电子电路的核心技术参数‌。 [图片] 光刻胶‌,是一种液体材料,...【查看原文】


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