上海盛剑半导体取得干式真空泵及废气处理系统专利，解决了现有技术中单向限流件维护更换不便利的问题

金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，上海盛剑半导体科技有限公司取得一项名为“一种干式真空泵及废气处理系统”的专利，授权公告号 CN 221973798 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种干式真空泵及废气处理系统，所述干式真空泵包括泵体和氮气吹扫装置，泵体具有多个氮气注入口，氮气吹扫装置包括分配器、多个单向限流件以及多条配气管路，单向限流件安装于分配器的出气口并连通在出气口与配气管路之间，多个配气管路分别与多个氮气注入口连接，分配器设置于泵体的轴向一侧，多条配气管路布置于泵体的下方并沿泵体的轴向方向延伸。通过将多个单向限流件集成设置于分配器上，并合理规划分配器与泵体、配气管路与泵体之间的相对位置，为单向限流件的维护与更换操作提供了足够空间，解决了现有技术中因单向限流件设置于泵体下方而导致更换维护不便利的问题，提高了便利性。

来源：金融界