PDMS(聚二甲基硅氧烷)是一种常见的弹性体材料,广泛应用于微流控芯片、生物传感器和柔性电子等领域。在这些应用中,刻蚀工艺是实现微结构加工的关键步骤。湿法刻蚀和软刻蚀是两种常用的刻蚀方法,它们在原理、工艺和应用场景上有所不同。 湿法刻蚀 湿法刻蚀是利用化学溶液(如氢氧化钠、氢氟酸等)与PDMS发生化学反应,从而去除PDMS材料的一种方法。该方法通常在常温或加热条件下进行,刻蚀速率和深度可以通过溶液浓度、温度和刻蚀时间等因素进行控制。 特点: 成本低:湿法刻蚀设备相对简单,不需要复杂的真空系统和气体控制装...【查看原文】