大连皓宇申请 PECVD 设备上的 spindle 主轴连接结构专利，确保主轴运动精确性

金融界 2024 年 11 月 9 日消息，国家知识产权局信息显示，大连皓宇电子科技有限公司申请一项名为“PECVD 设备上的 spindle 主轴连接结构”的专利，公开号 CN 118912111 A，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本发明公开 了 P E C V D 设备上的 spindle 主轴连接结构，包括：DD 马达，用于驱动主轴；转接底座，嵌套在 DD 马达内圈，用于传递驱动力；多功能轴端锁紧螺母，位于转接底座顶部凹槽内且套接在主轴上将主轴进行锁紧；辅助主轴丝杆，设置在主轴下方且上部伸进转接底座内，用于克服 DD 马达内圈磁铁吸力，防止主轴变形；丝杆螺母，套接在辅助主轴丝杆上；滚珠轴承，位于丝杆螺母与转接底座之间。本发明中 DD 马达内圈通过转接底座与主轴连接，减少了传动过程中的误差累积，从而确保了主轴运动的精确性。通过辅助主轴克服 DD 马达内圈磁铁的吸力，增加主轴的刚性，避免变形，防止 DD 马达内圈和外圈接触产生摩擦。

来源：金融界