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一文了解!快速退火炉的主要应用领域

作者:武汉嘉仪通服务站发布时间:2024-09-28

[图片] RTP(Rapid Thermal Processing)快速退火炉在多个领域有着广泛的应用,是现代半导体工业和其他新型材料工艺领域的重要设备。以下是RTP快速退火炉的主要应用领域: 1、半导体制造 - 晶圆热处理:可用于晶圆的热处理、掺杂激活和缺陷修复,以提高器件性能和可靠性。 - 后工艺处理:常用于半导体器件的后工艺处理,如金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)、太阳能电池等。通过快速热处理,能够在短时间内将晶体表面的氧化物去除,从而改善器件的电特性。 - 材料研究:可用于研究各种半...【查看原文】


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