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江西联创电子申请光学薄膜膜厚监控装置专利,提升量产镀膜良率

作者:金融界发布时间:2024-09-28

金融界2024年9月28日消息,国家知识产权局信息显示,江西联创电子有限公司申请一项名为“光学薄膜膜厚监控装置”的专利,公开号CN 118703963 A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明提供了一种光学薄膜膜厚监控装置,包括底壳、监控片、旋转件和间隔件;所述底壳包括基板和环绕部,基板上开设有一镀膜孔,环绕部设置于基板上且位于镀膜孔外侧,环绕部和基板形成一容纳槽;监控片包括监控部和承靠部,监控部位于所述承靠部之间,监控片设置于所述容纳槽内且位于基板上,监控部至少部分覆盖所述镀膜孔;旋转件与所述承靠部卡接,旋转件带动所述监控片在基板上旋转;间隔件位于所述承靠部和所述基板之间,用于将监控片设置在基板上方。本发明可以通过监控片旋转监控不同阶段的膜层厚度,精确控制镀膜厚度,提升镀膜水平,也提升了量产镀膜的良率,该装置结构简单,拆装方便,提高了工作效率。

来源:金融界


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