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艾生科申请具有气体输送功能的CVD镀膜装置专利,便于提高镀膜的效果

作者:金融界发布时间:2024-09-28

金融界2024年9月28日消息,国家知识产权局信息显示,艾生科(江苏)化工科技有限公司申请一项名为“一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置”的专利,公开号CN 118703976 A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明属于CVD镀膜技术领域,公开了一种具有气体输送功能的CVD镀膜装置,包括控制箱,控制箱的一侧设置有镀膜箱,镀膜箱内部开设有镀膜腔,镀膜腔底部固定安装有第一电机,第一电机输出端固定连接有转动轴,转动轴顶部固定连接有转动盘,转动盘顶部转动连接有转动杆,转动杆顶部固定安装有第二电机,第二电机底部且位于转动杆外表面连接有安装盘。通过转动盘带动第一支撑板与第二支撑板侧的加热器转动通过安装盘带动固定杆两侧的金属零件反向转动,同时使得固定板底部的两个金属零件都能够转动,从而便于单独的金属零件均能受热均匀,便于在镀膜腔内部与气体接触进行反应,便于提高镀膜的效果。

来源:金融界


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