安徽碳索芯材申请新型MPCVD生长金刚石自动产线装置专利，确保材料在进入下一环节的良率

金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，安徽碳索芯材科技有限公司申请一项名为“一种新型MPCVD生长金刚石自动产线装置”的专利，公开号CN 118703978 A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种新型MPCVD生长金刚石自动产线装置，包括：晶种传送腔室、MPCVD生长炉体、真空传送腔室、切割抛光检测腔室、半成品/成品传送腔室，所述MPCVD生长炉体与晶种传送腔室的侧壁相连接，所述MPCVD生长炉体包括微波电源、三销钉、波导、生长腔室、PLC控制面板，所述三销钉设置在波导的顶部，所述微波电源固定连接在波导靠近晶种传送腔室的一端。本发明集成了金刚石送样、生长、切割、抛光、清洗、缺陷检测为一体的自动产线装置，不仅能够进行连续送样和生长而且能够高效准确检测材料的缺陷和基础参数，确保材料在进入下一环节的良率，以及自动产线的运行稳定性。

来源：金融界