华羿微电子申请抑制中压 SGT MOSFET 横向漏电终端设计结构专利，有效提升分立器件正向耐压特性和可靠性

金融界 2024 年 11 月 11 日消息，国家知识产权局信息显示，华羿微电子股份有限公司申请一项名为“抑制中压 SGT MOSFET 横向漏电的终端设计结构、制作方法及应用”的专利，公开号 CN 118919555 A，申请日期为 2024 年 10 月 。

专利摘要显示，本发明公开了抑制中压 SGT MOSFET 横向漏电的终端设计结构、制作方法及应用，该终端设计结构通过在终端沟槽保护环阵列底部处进行低能量离子注入，从而形成低能量离子注入层，低能量离子注入层进而成型为抑制结构，可以有效改善 IDSS 电流流动方向，抑制横向漏电流路径，并且能够改变碰撞电离路径，在保持主结电势不变的同时，可有效缓解终端电场集中效应对功率器件的影响，以提升分立器件正向耐压特性和可靠性；有效提高硅功率器件良品率，极大节约制造成本。该工艺简单，有利于产品成本控制和大批量生产，具有高转化价值。

来源：金融界