山东鑫百宇真空科技申请平面弧直流溅射离子镀膜机专利，增强基片镀膜均匀性

金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，山东鑫百宇真空科技有限公司申请一项名为“一种平面弧直流溅射离子镀膜机”的专利，公开号 CN 118703947 A，申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示，本申请涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种平面弧直流溅射离子镀膜机，主要由夹持组件构成，所述旋转机构上设置有两组夹持组件，且每组夹持组件的数量为三，两组所述夹持组件交替设置，且同组的夹持组件运动状态相同，不同组的夹持组件运动状态不同。本发明将基片放置在旋转板顶端时，控制一组夹持组件运动而使得该组夹持组件上的调整组件对基片的侧壁进行夹持固定，并在一定时间后控制另一组夹持组件上的调整组件对基片进行夹持固定，两组夹持组件的交替夹持能够在保证基片设置稳定的情况下间歇性改变基片的夹持位置，促使基片的夹持位置具有被镀膜的时间和空间，从而增强基片镀膜均匀性，提高镀膜质量。

来源：金融界