亚芯半导体申请异形镍铂合金靶材制备专利，提高生产效率

金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，亚芯半导体材料（江苏）有限公司申请一项名为“一种异形镍铂合金靶材制备方法”的专利，公开号CN 118703946 A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种异形镍铂合金靶材制备方法，包括以下具体步骤：S1：真空熔炼；S2：热轧制；S3：第一次热处理；S4：冲压；S5：第二次热处理；S6：检测；S7：机械加工：用数控车床将完成热处理的异形板坯按客户图纸进行机械加工；S8：测量：几何尺寸测量、平整度测量、磁通量测量；S9：清洗包装；S10：产品入库。本发明可以得到稳定性好，成品率高的异形镍铂合金靶材，通过控制各个步骤参数改善靶材的使用率，从而提高生产效率，较大的节约了成本。

来源：金融界