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苏州希景微机电申请蒸镀方法专利,减少蒸镀形成的薄膜表面的黑色颗粒

作者:金融界发布时间:2024-09-28

金融界 2024 年 9 月 28 日消息,国家知识产权局信息显示,苏州希景微机电科技有限公司申请一项名为“蒸镀方法”的专利,公开号 CN 118703941 A,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本申请公开了一种蒸镀方法,涉及材料表面处理技术领域。蒸镀方法包括:使用沾有预设溶液的无尘布擦拭蒸镀材料,其中,预设溶液为可腐蚀蒸镀材料的溶液;采用吹气装置吹扫蒸镀材料;将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀腔室内,并对蒸镀材料进行预融;以及,将蒸镀材料蒸镀至基片表面。通过上述方式,能够减少蒸镀形成的薄膜表面的黑色颗粒。

来源:金融界


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