合肥欣奕华申请用于蒸镀设备真空腔室破真空扩散器专利，保证扩散器上部对于玻璃基片的冲击更小

金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请一项名为“种用于蒸镀设备真空腔室破真空扩散器”的专利，公开号CN 118703937 A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于蒸镀设备真空腔室破真空扩散器，包括扩散器主体、遮挡罩；所述扩散器主体远离遮挡罩的一端设有进气孔，所述扩散器主体的侧部设有扩散孔，所述遮挡罩设置于所述扩散器主体上且与所述扩散器主体活动连接，所述遮挡罩通过相对扩散器主体移动用来遮挡或打开扩散孔，本申请通气结构采用内外双层扩散筒的结构设计，并且扩散筒上的扩散孔的孔径从下到上逐渐减小，使得气流在离玻璃基片较远的地方扩散速度快，较近的地方气流更少，可以保证扩散器上部对于玻璃基片的冲击更小。

来源：金融界