芯默科技申请晶圆退火设备专利，实现对晶圆的均匀加热

金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，苏州芯默科技有限公司申请一项名为“一种晶圆退火设备”的专利，公开号 CN 118919461 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆退火设备，该晶圆退火设备包括：舱体，设置于舱体内部且呈盘旋状的加热管组，以及设置于舱体侧部的供气板；加热管组包括：呈盘旋状的加热管与套设于加热管外侧并与加热管形成环形盘旋通道且呈盘旋状的保护管，保护管两端轴向向外延伸出舱体侧部，加热管两端所形成的管线轴向向外延伸出保护管，供气板设置于保护管端部且管线自供气板伸出，供气板开设连通环形盘旋通道的进气口，并于进气口形成向环形盘旋通道输送气体的进气头，以由环形盘旋通道内流动的气体对加热管进行温度调整。通过本发明，实现对晶圆的均匀加热。

来源：金融界