安泊智汇申请高压气体热处理装置专利，可保障压力平衡的稳定性和可靠性

金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，安泊智汇半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“高压气体热处理装置”的专利，公开号 CN 118919450 A，申请日期为2024 年 7 月。

专利摘要显示，本发明提供了一种高压气体热处理装置，包括：内部中空的第一腔体；内部中空的第二腔体，第一腔体位于第二腔体内；内部中空的第三腔体，第二腔体位于第三腔体内，第三腔体与第二腔体相连通；第一供给组件，用于向第一腔体供给工艺气体；第二供给组件，用于向第二腔体和第三腔体供给工艺气体；第一腔体与第二腔体之间和/或第一腔体与第三腔体之间通过管路连通，管路上设有调节组件，调节组件可调节气体从气压较高的腔体流入气压较低的腔体，以平衡压力本发明中调节组件可自动检测并调节无需复杂的控制电路，也不会受器件通讯故障的影响，即使其他元件出问题，也不会影响其工作，保障了压力平衡的稳定性和可靠性。

来源：金融界