广东先导微电子科技取得晶片甩干托盘专利，能利用离心力进行高效甩干
金融界2024年12月24日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种晶片甩干托盘”的专利，授权公告号 CN 222190689 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体衬底材料制造领域，具体公开了一种晶片甩干托盘，包括托盘本体以及调节组件，其中，所述托盘本体的上表面沿所述托盘本体的边缘设有凸缘，所述凸缘在所述托盘本体的上表面围成一内凹晶片放置区域，所述托盘本体与所述凸缘之间开设有多个排水孔，所述内凹晶片放置区域内对称开设有弧槽；所述调节组件设置于所述弧槽内，用于根据晶片的尺寸进行调节以实现对不同尺寸晶片的夹持固定。该晶片甩干托盘结构简单，稳定性好，同时利用离心力对晶片上的水分进行甩干，甩干效率高，且无需手动操作，能有效避免员工受伤，从而达到降低成本的目的。
来源：金融界
