东莞方泰新材料技术有限公司取得改进型静电吸盘专利，提高静电吸盘的使用寿命

金融界2024年12月24日消息，国家知识产权局信息显示，东莞方泰新材料技术有限公司取得一项名为“改进型静电吸盘”的专利，授权公告号CN 222190685 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，且公开了改进型静电吸盘，包括基座组件，基座组件的顶部设置有静电吸附组件，静电吸附组件的外壁螺纹连接有密封组件，且密封组件的外壁下端与基座组件的内壁螺纹连接，基座组件包括有底座，底座的外壁固定安装有陶瓷面板，陶瓷面板的外壁固定安装有第一防护 层，静电吸附组件包括有静电吸盘本体，通过设置了基座组件、静电吸附组件和密封组件，在基座组件的顶部设置有静电吸附组件，静电吸附组件的外壁螺纹连接有密封组件，密封组件的外壁下端与基座组件的内壁螺纹连接，有效地避免了颗粒溅落导致的侧壁裂纹导致静电吸盘侧边出现内漏对静电吸盘的内部造成污染的问题，从而提高了静电吸盘的使用寿命。

来源：金融界