半导体行业真空泵常见故障解析

真空泵是工业领域的核心设备之一，广泛应用于半导体、化工、医疗、石油等行业，在科技进步起到了关键作用，那么在半导体制造业中常见的真空设备有干式真空泵、罗茨真空泵、油封式真空泵等，不同的真空泵性能也不一样，故障判断和维修方法也会有差异，那么，本文将会展开半导体制造业常用的旋片式油封机械泵的详细介绍其常见故障及解决方法。 [图片] 油封式机械泵属于低真空泵，压力范围在101 325~1X10-2Pa，可以抽取干燥气体和可凝气体，在使用过程中一般会出现以下几项常见故障： 一、泵体出现异常声响 1.需要及时检查电压...【查看原文】