上海乾曜光学科技申请用于子孔径拼接光学干涉测量校准装置和方法专利，校准测试环境的微小偏差

金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海乾曜光学科技有限公司申请一项名为“一种用于子孔径拼接光学干涉测量校准装置和方法”的专利，公开号 CN 119146841 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种用于子孔径拼接光学干涉测量校准装置和方法，载物台设有偏移量调节装置，待测物通过偏移量调节装置承载于载物台，在载物台上放置平面镜，通过横移纵移机构调节干涉仪安装台的位置，使得反射光点出现在十字叉丝的视野范围内；通过偏移量调节装置微调载物台的位置，使得反射光点对准十字叉丝的中心位置。本发明通过设置横移纵移机构和升降机构使得干涉仪安装台和载物台可以做初步对应调整，通过偏移量调节装置对载物台调整相对于干涉仪的光轴的角度，从而校准测试环境的微小偏差，解决了由于干涉仪和待测物的位置偏差而影响测量精度，可操作性强，结构简单成本低廉。

来源：金融界