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矽电半导体取得基于水循环的冷却载片台专利,能够在不影响芯片测试的情况下及时将载片台的热量带走

作者:金融界发布时间:2024-12-24

金融界2024年12月24日消息,国家知识产权局信息显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司取得一项名为“一种基于水循环的冷却载片台”的专利,授权公告号 CN 222190681 U,申请日期为 2024 年 1 月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种基于水循环的冷却载片台,涉及半导体测试设备技术领域,包括载片台和循环盘。载片台用于放置芯片;循环盘与载片台之间设有连接装置并通过连接装置互相连接,循环盘内部设有水流通道,水流通道的首尾两端分别为进水口和出水口。本实用新型的基于水循环的冷却载片台,能够在不影响芯片测试的情况下及时将载片台的热量带走,维持芯片在合理的温度区间内。

来源:金融界


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