儒芯微电子取得一种光刻胶用除泡装置专利，可持续长时间进行除泡操作

金融界2024年12月16日消息，国家知识产权局信息显示，儒芯微电子材料（上海）有限公司取得一项名为“一种光刻胶用除泡装置”的专利，授权公告号 CN 222150976 U ，申请日期为 2024 年4月。

专利摘要显示，本实用新型 涉及光刻胶除泡技术领域，公开了一种光刻胶 用除泡装置，其中一种光刻胶用除泡装置，包括工作仓，所述工作仓 的顶部安装有仓盖，所述仓盖的顶部设置有除 泡组件A，所述工作仓的 内部安装有除泡组件B；所述除泡组件B包括四个安装在工作仓内壁底部四角的弹性件A。该一种光刻胶用除 泡装置，先对流动通道进行下压密封，并进行抽真空操作，然 后，持续向流动通道内添加光刻胶，光刻胶持续的在流动通道 内被除气泡擦操作，只需要源源不断地加入光刻胶，该装置即 可一直的进行除泡操作，可持续长时间进行工作，同时，除泡采 用抽真空除泡、加热除泡以及振动除泡，多重除泡操作同时使 用，以保证对光刻胶内气泡除泡的效果。

来源：金融界