科隆威申请一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备专利，能提高电池硅片加工的便捷性和效率

金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，科隆威（江苏）新能源装备有限公司申请一项名为“一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备”的专利，公开号 CN 119153581 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明属于去磷去硼硅刻蚀清洗设备技术领域，尤其是涉及一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，包括酸洗烘干一体链式机主体、机械臂和电动负压吸盘组件，所述酸洗烘干一体链式机主体的下片端外壁固定连接有两个连接架，所述连接架的底端与酸洗烘干一体链式机主体的底端处于同一水平面，两个所述连接架的外壁固定连接有驱动机构。本发明使用于电池硅片湿法蚀刻设备具有电池硅片过蚀刻和蚀刻不完全检测的功能，提高电池硅片湿法蚀刻设备使用的可靠性，而且电池硅片湿法蚀刻设备还具有蚀刻不完全电池硅片精准再蚀刻加工的功能，不仅能够提高电池硅片加工的品质，还能够提高电池硅片湿法蚀刻加工的便捷性和效率。

来源：金融界