合肥康芯威存储技术申请一种存储器件的制造方法及存储器件专利，提高存储器件的品质

金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥康芯威存储技术有限公司申请一项名为“一种存储器件的制造方法及存储器件“，公开号 CN202411140063.7 ，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示，本发明提供一种存储器件的制造方法及存储器件，所述存储器件的制造方法，至少包括以下步骤：提供一衬底；在衬底上形成底部堆叠结构；蚀刻底部堆叠结构，形成第一沟道孔，第一沟道孔底部的径向尺寸为第一间距，第一沟道孔顶部的径向尺寸为第二间距，第一间距小于第二间距；在底部堆叠结构上形成上层堆叠结构；对上层堆叠结构进行干法蚀刻，形成第二沟道孔，第二沟道孔与第一沟道孔连通，且第二沟道孔底部的径向尺寸为第一间距，第二沟道孔顶部的径向尺寸为第二间距；以及对第二沟道孔的侧壁进行湿法蚀刻和干法蚀刻，第二沟道孔底部的径向尺寸由第一间距增大至第三间距。

来源：金融界