半导体制造与AOI检测的一些问题解答

本周的周一，周二两天，Tom分别拜访了位于深圳市坪山区的深圳清华大学研究院超滑技术研究所与深圳格芯集成电路装备有限公司，超滑所具有整条半导体制造的产线，格芯是专门做AOI设备的企业，Tom和相关负责人针对相应领域技术作了一番交流，这里面涉及到很多半导体机理的内容，特整理出来，供大家参阅。 EBL与传统的紫外曝光机，激光直写曝光机的曝光方式上有什么差别？ [图片] EBL（电子束光刻）使用电子束进行曝光，精度极高，可实现纳米级图形，但速度较慢。激光直写曝光机使用激光直接在光刻胶上写入图形，分辨率介于EBL...【查看原文】