微流控SU8掩膜版的制作是一个复杂的工艺过程,涉及到多个步骤。以下是详细的制作流程: 1. 掩膜版设计 原理图设计:根据微流控芯片的设计要求,进行原理图设计,分析元件需接线方向,设计需要在掩膜版上印制的图案。 版图生成:使用专业的CAD软件生成掩膜版的版图,确保图案的精确性和完整性。 2. 掩膜版制作 基板准备:选择高洁净度、高平整度的石英玻璃作为基板。 镀层:在石英玻璃上镀上一层铬,铬上再覆盖一层防反射物质,最上面涂覆一层感光胶。 曝光:使用图形发生器通过选择性曝光在铬版的感光胶上形成所需版图图形。 显...【查看原文】