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刻蚀角度与ICP-RIE射频功率的关系？

作者：Tom聊芯片智造发布时间：2024-11-18

知识星球里的学员问：用ICP-RIE刻蚀接触孔工艺中中，侧壁的角度与射频功率关系大不大？如何通过调节功率来调节侧壁角度？什么是刻蚀的侧壁角度？如上图，侧壁角度是侧壁相对于衬底的倾斜角度，是衡量刻蚀质量的重要指标之一。理想的侧壁角度接近90°，垂直于衬底，但是大多数情况下的侧壁角度是倾斜的，即锥形。垂直或倾斜的刻蚀角度均有其应用的场景，垂直角度更适合高密度互连的要求，可以避免锥形角度带来的空间浪费。而锥形角度可以使填孔工艺大大降低。ICP-RIE的功率调节？如上图，改变上位机电源的功率，可以改变等离子体的密...【查看原文】

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