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上海广川科技取得晶圆搬运机器人测试系统专利

作者:金融界发布时间:2024-11-08

金融界2024年11月8日消息,国家知识产权局信息显示,上海广川科技有限公司取得一项名为“种晶圆搬运机器人的测试系统”的专利,授权公告号CN 116141379 B,申请日期为2023年2月。

来源:金融界


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