半导体真空泵常见故障分析
随着经济快速增长，半导体工业也随之不断发展，真空设备在半导体行业中的应用也更加广泛。
半导体设备中常见的真空泵为油封式机械泵，干式真空泵，罗茨真空泵，分子真空泵，扩散泵和冷凝泵等。真空泵运行情况的优劣直接影响设备的经济性和安全性。
本文从常见半导体设备真空泵的故障及维修办法等方面入手，对常见泵的故障现象和维修手段进行简要总结，可有效节约维修时间，及时发现故障和处理，保证设备安全经济运行。
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