当前位置:首页|资讯

基于机器视觉的硅片尺寸测量

作者:石鑫华视觉发布时间:2024-10-01

基于机器视觉的硅片尺寸测量

硅片尺寸测量


硅片尺寸测量

硅片尺寸测量,在视觉行业里比较常见。当然更多的其实是一些五金产品的尺寸测量,而像硅片这类半导体的尺寸测量,要少一些。不过相对来讲,尺寸测量要比其它如外观测量要容易许多。

 

机器视觉光源

可以使用背光源作为照明光源。至于使用何种光源充当背光源,则需要考虑测量精度,可以使用面光源、平行面光源、平行光源等,这几种光源测量的精度是逐渐增加的。使用背光源,则需要考虑产品的摆放,硅片这样的东西,是易碎品,怎么固定需要机械设计人员考虑清楚,可以直接上到玻璃上。

 

工业相机

相机的选择,主要考虑分辨率,而分辨率则需要考虑测量精度,如果测量精度较高,则相机的分辨率要求比较高。而如果精度不高,则使用常规的相机即可。

 

工业镜头

如果是使用面光源,则使用一般的CCTV镜头即可。而如果是使用更高级的平行面光源、平行光源,则建议使用远心镜头。

 

图像处理算法

简单点可以直接使用卡尺测量,不过这种方法不能有毛刺等,而且ROI最好与产品的边缘平行,毛刺容易干扰卡尺的边缘点的位置,ROI不平行时则会取最大位置,与实际值是有差异的。

卡尺容易受毛刺影响测量不准
卡尺ROI与边缘不平行时测量不准确

另一种方法则是先使用查找直边函数,需要查找描述间距的两条直边。然后再使用点到直线的距离函数,求得(一条边上的)点到直线之间的距离,这样可以得到一条直边两个点到另一条边的距离,使用计算求平均值,得到两条直边之间距离。这样得到的距离会准确一些,不容易受毛刺、缺口、灰尘等干扰的影响。

直边距离法测量尺寸1


直边距离法测量尺寸2


机器视觉项目实现难度

这种项目还是非常简单的,现在都已经很少有这样的项目了。简单的项目都做的并不多了。只剩下一些难啃的项目,还挤破了脑袋,太卷了。


Copyright © 2024 aigcdaily.cn  北京智识时代科技有限公司  版权所有  京ICP备2023006237号-1