江苏光启灵犀装备申请光伏链式光刻生产系统专利，可实现无损图形化

金融界2024年12月26日消息，国家知识产权局信息显示，江苏光启灵犀装备有限公司申请一项名为“一种光伏链式光刻生产系统”的专利，公开号 CN 119179237 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明属于光刻技术领域，具体的说是一种光伏链式光刻生产系统，一链式辊涂模块，用于硅片光刻胶的涂覆；一激光打定位点模块，用于所述硅片定位点的形成；一曝光模块，用于所述硅片定位点的抓取；一显影模块，用于所述硅片的碱洗；一水洗系统，用于所述硅片表面的清洗；一去胶模块，用于所述硅片表面的去胶；一烘干模块，用于所述硅片表面的烘干；一计算机控制器，用于控制上述模块的运行，本发明相比于激光开膜，采用高功率激光的照射，将薄膜表面加热到高温，对钝化膜本身产生热损伤，而本发明利用光刻技术通过光刻胶显影和曝光实现掩膜，可实现无损图形化，对p+‑poly‑Si和n+‑poly‑Si钝化性能没有损伤。

来源：金融界