宁波中车时代传感技术取得单芯片集成 3D 霍尔器件及其制备方法专利，该器件尺寸非常小

金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，宁波中车时代传感技术有限公司取得一项名为“一种单芯片集成 3D 霍尔器件及其制备方法“，授权公告号 CN118434265B，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，一种单芯片集成 3D 霍尔器件及制备方法，其中单芯片集成 3D 霍尔器件设置有：STI 隔离槽、第一 P 型埋层、第二 P 型埋层、N 型电极、氧化层、第三 P 型阱和金属层。该单芯片集成 3D 霍尔器件包括有 4 个第一 N 型电极和 1 个第二 N 型电极，其中 4 个第一 N 型电极中在检测垂直磁场时互相垂直的电极互为偏置电极和霍尔电压检测电极，在检测水平磁场时 4 个第一 N 型电极代表 X 或 Y 方向电流，当有垂直于电流方向的平行磁场穿过时，沿另一个垂直方向会产生感应电势，集中在第二 N 型电极，从而检测到 Y 或 X 方向磁场感应产生的霍尔电压。该器件在 P 型硅晶圆衬底中形成，其霍尔有源功能区的最大尺寸仅在 30μm～50μm 范围内，因此其尺寸非常小。

来源：金融界