浙江华熔科技申请一种无尘抗酸石墨舟制备方法专利，实现石墨舟表面的无尘保护

金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，浙江华熔科技有限公司申请一项名为“一种无尘抗酸石墨舟的制备方法”的专利，公开号 CN 119118708 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体器件生产设备的制造技术，旨在提供一种无尘抗酸石墨舟的制备方法。包括：将钛酸酯类偶联剂水解得到改性溶液，将洗净后是石墨舟浸入其中浸泡；取出后清洗、烘干；在维持真空或惰性气氛的条件下对石墨舟进行灼烧处理，得到无尘抗酸石墨舟。本发明中的主要涂层材料为钛酸酯类偶联剂，发生水解后与石墨材料紧密结合形成化学交联，实现材料表面无尘保护；进一步在高温下沉积下形成TiC/TiO2涂层，实现对石墨舟表面的无尘保护。本发明的方法操作简单、设备要求低，综合成本低，产品在实际生产运行中的使用效果好；不增加机械加工成本，并可以提高产品的使用寿命和防止舟印等问题。

来源：金融界