湖南德智申请碳化硅表面处理方法及其应用专利，延长碳化硅材料使用寿命

金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，湖南德智新材料股份有限公司申请一项名为“一种碳化硅表面处理方法及其应用”的专利，公开号 CN 119118706 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明提供了一种碳化硅材料表面处理方法及应用，本发明的碳化硅材料表面处理方法，包括如下步骤：将具有待处理表面的碳化硅材料放置在真空腔中；对所述碳化硅材料进行水氧氧化处理，形成氧化层；对所述氧化层进行酸洗处理和超声清洗处理。本发明提供了一种碳化硅材料表面处理方法以及所述碳化硅材料表面处理方法在晶圆刻蚀领域中的应用。本发明的碳化硅材料表面处理方法能够对碳化硅材料在加工过程中表面产生的应力损伤层进行消除，并且能够使所述碳化硅材料的表面平整度和光洁度得到显著提高，延长碳化硅材料的使用寿命，满足辅助芯片生产的要求，提供给晶圆被均匀刻蚀的环境，有效提升晶圆刻蚀的效果。

来源：金融界