安集微电子科技（上海）取得球形碳酸铈及氧化铈合成专利，所得氧化铈显示出良好的 CMP 抛光特性

金融界2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司取得一项名为“一种球形碳酸铈及一种氧化铈的合成方法“，授权公告号 CN113120940B，申请日期为 2019 年 12 月 。

专利摘要显示，本发明提供一种球形碳酸铈及一种氧化铈的合成方法，包括将铈源和沉淀剂分别溶于水中，制成铈源溶液和沉淀剂溶液；使用惰性气体分别对所述铈源溶液和所述沉淀剂溶液进行鼓泡处理；将鼓泡处理后的沉淀剂溶液添加至鼓泡处理后的铈源溶液中混合，形成反应液；在惰性气体环境下搅拌所述反应液，反应液进行沉淀反应，反应结束后将所述反应液自然冷却至室温；过滤所述反应液，得到球形碳酸铈。将所得球形碳酸铈干燥、焙烧后得到氧化铈。所得氧化铈颗粒经分散处理后可应用于 CMP 抛光，显示出良好的 CMP 抛光特性。

来源：金融界