纳峰真空镀膜（上海）取得改进的阴极电弧源过滤管专利，能够从阴极电弧源中发出的离子束中过滤掉大颗粒

金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，纳峰真空镀膜（上海）有限公司取得一项名为“改进的阴极电弧源过滤管“，授权公告号 CN113903650B，申请日期为 2021 年 6 月。

专利摘要显示，一个用于阴极电弧源的过滤管（104a，104b，108）包括：具有至少一个弯曲部分（104a、104b）的过滤管管道，以及用于引导离子通过过滤管管道以从离子中去除大颗粒的第一磁场源；其中，所述设备包括第二磁场源（108），其可旋转地安装围绕在过滤管的部分管道上。阴极弧源（102）和阴极电弧沉积设备（106）包括本文所述的过滤管，和能够从阴极电弧源中发出的离子束中，过滤掉大颗粒的过滤管。

来源：金融界