罗伯特·博世申请微机电压力传感器专利，能够均衡通过保护介质施加到测量膜片上的重力

金融界2024年9月30日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电压力传感器”的专利，公开号CN 118706315 A，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明涉及一种微机电压力传感器(100)，具有电容式压力传感器元件(101)，电容式压力传感器元件包括基座结构(105)、测量腔(107)和至少一个杠杆结构(111)，借助保护介质(103)覆盖基座结构，测量腔构造在基座结构中，测量腔具有测量膜片(109)，杠杆结构布置在基座结构上，杠杆结构具有杠杆梁(115)，杠杆梁以能翻转的方式悬挂在悬挂元件(113) 上，杠杆梁的第一端部(117)固定在测量膜片上，在杠杆梁的第二端部(119)上构造有均衡元件(121)，通过杠杆结构的均衡元件能够均衡通过保护介质(103)施加到测量膜片(109)上的重力(F)。

来源：金融界