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除了光刻机,国产芯片,已经实现了14nm工艺的自主化

作者:科技plus发布时间:2024-11-18

众所周知,自从2020年以来,美国就限制EUV光刻机卖给中国。

后来这种限制越来越严格,被禁运的设备也越来越多,按照媒体的说法,美国的目标是锁死我们的逻辑芯片工艺在14nm,DRAM内存在18nm,NAND闪存在128层。

在这样的情况之下,国产厂商们纷纷努力,希望早日实现国产替代,突破美国的封锁。

而这个国产替代,分为两个部分,一方面是先进设备的突破,减少对国外的依赖。

另外一个方面,则是对成熟芯片的设备进行替代,据媒体的说法,有些国内芯片厂,甚至已经到了对设备上的零部件逐一排查的地步。

只要是国产设备能够进行替代的,哪怕是性能差一点,可靠性差一点,也要替代掉,因为使用国外设备,就有可能被卡脖子的风险。

那么问题来了,目前国产替代,到底到了什么程度了?使用全套国产设备,究竟能够生产多少纳米的芯片?

从当前的情况来看,除了光刻机,我们应该已经实现了14nm芯片的全部自主化。

我们可以从晶圆制造,到前道工序,后道工序这三个主要环节来看。

晶圆制造这一块,基本上没什么问题,300mm的晶圆我们能够制造,300mm晶圆,制造3nm、2nm都没问题。

而前道工序最复杂,这里机的设备最多,也最关键,需要使用光刻机、刻蚀机、清洗机、离子注入等等设备。

这里的国产设备技术也是一样,最先进的是国产刻蚀机,达到了3nm,而最落后的则是光刻机了,应该还在65nm,使用多重曝光技术之后,估计最高还不到28nm。

到于其它的设备,有些先进的达到了7nm,但基本上其实都达到了14nm左右。

而后道工序这里指的是封测这一块,中国在封测领域一直处于国际领先水平,设备也大部分实现了国产化,按照专业人士的说法,使用国产设备,来封测7nm及以下的芯片,都没太多问题。

可见,如果全部替换掉国外设备,采用全套国产设备,除了光刻机之外,应该是能够达到14nm的,但使用国产光刻机,可能问题就比较大了,也许28nm都不一定。

所以接下来,国产光刻机的突破势在必行,只要光刻机跟上,我们就没那么在乎禁令了,如果能够有国产EUV光刻机,那禁令就成废纸了。


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