先导薄膜申请一种CoFeB平面靶材的制备方法专利，制得了一种组分分布均匀且杂质元素含量较少的CoFeB平面靶材

金融界2024年11月5日消息，国家知识产权局信息显示，先导薄膜材料（江苏）有限公司申请一项名为“一种CoFeB平面靶材的制备方法”的专利，公开号 CN 118895456 A，申请日期为 2024年7月。

专利摘要显示，本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种CoFeB平面靶材的制备方法，该方案先将钴、铁、硼按照钴、硼、铁、硼、钴、硼、铁、硼的顺序依次投入坩埚内一次熔炼、冷却，得到合金锭一再将合金锭一倒置放入坩埚内二次熔炼，得到合金锭二，最后将合金锭二倒置放入坩埚进行三次熔炼、浇铸、退火机加工，得到CoFeB平面靶材，本方案通过上述设计制得了一种组分分布均匀且杂质元素含量较少的CoFeB平面靶材，此外，本申请还公开了一种CoFeB平面靶材。

来源：金融界